阿斯麦和台积电有能力瘫痪制造芯片的机器。”彭博社5月21日援引两名消息人士的话称，有美国官员就大陆攻台的后果私下向荷兰和中国台湾官员表达担忧。不过，光刻机制造商阿斯麦向荷兰官员保证，可以远程瘫痪（remotely disable）相应机器，包括最先进的极紫外光刻机（EUV）。
两位不愿具名的消息人士称，中国台湾生产了全球绝大多数的先进芯片，因此美国政府私下向荷兰及台当局官员表达了对台海冲突的忧虑
另两名消息人士称，荷兰政府与阿斯麦就这一问题进行商讨时，阿斯麦向官员保证，该公司有能力远距停止机器运作，他们已就可能发生的战事进行模拟，以便妥善评估风险。
光刻机和一些高精度设备一样，需要频繁维护，随着技术提高，现在很多设备厂家可以提供远距离服务。像机床用户的数据随时实时传递给设备厂家，设备厂家进行实时监控，如果发现问题，设备厂家可以和用户观看同一操作界面，进行故障排除。这本来是高效率和及时帮助客户解决问题，并降低维护成本的方法，但同样也可以用到远距离监控和控制用户。
设备厂家如果背着用户留后门，那么就可以在特殊情况下远距离瘫痪，甚至破坏设备(比如发送一个超过设备负载的极高输出指令)。既然ASML这么说，那国内目前购买的ASML的设备也许都存在这样用户不知道的后门。如果真是这样，这是很严重的问题，ASML不仅可以瘫痪台积电，同样可以瘫痪在中国大陆的光刻机。
应对远程瘫痪，最简单的办法就是物理隔离，而且很多工厂本身就使用工业内网，在完全物理隔离的状态下，无法进行远程瘫痪。
不过，如果ASML真要瘫痪特定晶圆厂的光刻机，没必要搞远程瘫痪。其实只要不提供技术服务，以及原料厂商断绝耗材供应，晶圆厂就会陷入大麻烦。
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